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2022-2026年中國晶圓加工設備行業深度調研及投資前景預測報告

首次出版:2022年3月最新修訂:2022年3月交付方式:特快專遞(2-3天送達)

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報告目錄內容概述 定制報告

第一章 晶圓加工設備概述
1.1 晶圓加工設備基本介紹
1.1.1 晶圓加工設備價值
1.1.2 晶圓加工設備分類
1.1.3 晶圓加工設備特點
1.1.4 行業的上下游情況
1.2 晶圓加工相關工藝
1.2.1 晶圓加工流程
1.2.2 熱處理工藝
1.2.3 光刻工藝
1.2.4 刻蝕工藝
1.2.5 薄膜沉積工藝
1.2.6 化學機械研磨工藝
1.2.7 清洗工藝
第二章 2020-2022年中國晶圓加工設備行業發展綜述
2.1 中國晶圓加工設備行業政策環境
2.1.1 行業政策概覽
2.1.2 行業規劃政策
2.1.3 行業稅收政策
2.2 中國晶圓加工設備行業發展環境
2.2.1 半導體設備行業基本情況
2.2.2 全球半導體設備行業發展情況
2.2.3 全球半導體設備行業競爭格局
2.2.4 國內半導體設備行業政策分析
2.2.5 中國半導體設備行業發展情況
2.2.6 國內半導體設備行業發展需求
2.3 晶圓加工設備行業發展情況
2.3.1 全球晶圓加工設備市場規模
2.3.2 全球晶圓加工設備細分市場
2.3.3 中國晶圓加工設備市場規模
2.3.4 中國集成電路制造設備國產化潛力
2.4 中國晶圓加工設備行業投招標情況
2.4.1 半導體設備行業招投標情況
2.4.2 晶圓加工設備廠商中標現狀
2.4.3 晶圓加工設備廠商中標動態
2.4.4 晶圓加工設備行業投資風險
2.5 晶圓加工設備行業發展挑戰及建議
2.5.1 晶圓加工設備行業發展挑戰
2.5.2 晶圓加工設備行業發展建議
第三章 2020-2022年中國光刻設備行業發展綜述
3.1 光刻設備概述
3.1.1 光刻機基本介紹
3.1.2 光刻設備技術介紹
3.1.3 EUV光刻機制造工藝
3.1.4 主流光刻機產品對比
3.2 全球光刻設備行業發展情況分析
3.2.1 全球光刻機行業發展歷程
3.2.2 全球光刻機行業上下游布局
3.2.3 全球光刻機行業銷量規模
3.2.4 全球光刻機行業市場規模
3.2.5 全球光刻機產品結構分析
3.2.6 全球光刻機行業競爭格局
3.3 中國光刻設備行業發展情況分析
3.3.1 國內光刻機產業政策
3.3.2 國內光刻機產業鏈布局
3.3.3 國內光刻機研發動態
3.3.4 光刻機行業面臨問題
3.3.5 國產光刻機發展建議
3.3.6 國產光刻機破局之路
3.4 2020-2022年中國光刻機進出口數據分析
3.4.1 進出口總量數據分析
3.4.2 主要貿易國進出口情況分析
3.4.3 主要省市進出口情況分析
第四章 2020-2022年中國薄膜沉積設備行業發展綜述
4.1 薄膜沉積設備概述
4.1.1 薄膜沉積設備定義
4.1.2 薄膜沉積設備分類
4.2 薄膜沉積設備市場發展情況
4.2.1 全球薄膜沉積設備市場規模
4.2.2 全球薄膜沉積設備競爭態勢
4.2.3 國內薄膜沉積設備招標情況
4.2.4 國內薄膜沉積設備競爭態勢
4.2.5 薄膜沉積設備行業面臨挑戰
4.3 化學氣相沉積(CVD)設備行業發展情況
4.3.1 CVD技術概述
4.3.2 CVD設備產業鏈全景
4.3.3 CVD設備行業發展現狀
4.3.4 CVD設備行業競爭格局
4.4 薄膜沉積設備行業發展前景
4.4.1 薄膜沉積設備行業面臨機遇
4.4.2 薄膜沉積設備行業風險分析
4.4.3 薄膜沉積設備行業發展趨勢
第五章 2020-2022年中國刻蝕設備行業發展綜述
5.1 刻蝕設備概述
5.1.1 半導體刻蝕技術
5.1.2 刻蝕工藝分類
5.1.3 刻蝕先進工藝
5.1.4 刻蝕設備原理
5.1.5 刻蝕設備分類
5.1.6 刻蝕設備產業鏈
5.2 全球刻蝕設備行業發展情況
5.2.1 刻蝕設備市場規模
5.2.2 刻蝕設備市場結構
5.2.3 刻蝕設備競爭格局
5.3 中國刻蝕設備行業發展情況
5.3.1 刻蝕行業驅動因素
5.3.2 刻蝕設備國產化情況
5.3.3 刻蝕技術水平發展狀況
5.3.4 刻蝕領域技術水平差距
5.3.5 刻蝕設備國產替代機遇
第六章 2020-2022年中國化學機械拋光設備行業發展狀況
6.1 CMP設備概述
1.1.1 CMP技術概念
6.1.1 CMP設備應用場景
1.1.2 CMP設備基本類型
6.2 全球CMP設備行業發展情況
6.2.1 全球CMP設備市場分布
6.2.2 全球CMP設備競爭格局
6.2.3 全球CMP設備市場規模
6.3 中國CMP設備行業發展情況
6.3.1 CMP設備市場規模
6.3.2 CMP設備市場分布
6.3.3 CMP設備市場集中度
6.3.4 CMP設備行業面臨挑戰
6.4 CMP設備行業投資風險
6.4.1 市場競爭風險
6.4.2 技術創新風險
6.4.3 技術迭代風險
6.4.4 客戶集中風險
6.4.5 政策變動風險
6.5 CMP設備技術發展趨勢
6.5.1 設備拋光頭分區精細化
6.5.2 清洗單元多能量組合化
6.5.3 設備工藝控制智能化
6.5.4 預防性維護精益化
第七章 2020-2022年中國清洗設備行業發展綜述
7.1 清洗設備行業概述
7.1.1 半導體清洗介紹
7.1.2 半導體清洗工藝
7.1.3 清洗設備的主要類型
7.1.4 清洗設備的清洗原理
7.2 全球清洗設備行業發展情況
7.2.1 全球清洗設備行業市場規模
7.2.2 全球清洗設備行業競爭格局
7.2.3 全球清洗設備公司技術布局
7.2.4 全球清洗設備市場結構分布
7.3 中國清洗設備行業發展情況
7.3.1 國內清洗設備企業發展情況
7.3.2 國內清洗設備行業技術發展
7.3.3 國內清洗設備市場發展空間
7.4 國內清洗設備廠商中標情況
7.4.1 中標情況概覽
7.4.2 長江存儲
7.4.3 華虹無錫
7.4.4 上海華力
第八章 2020-2022年中國離子注入設備行業發展綜述
8.1 離子注入機概述
8.1.1 離子注入工藝
8.1.2 離子注入機組成
8.1.3 離子注入機類型
8.1.4 離子注入機工作原理
8.2 離子注入機應用領域分析
8.2.1 光伏應用領域
8.2.2 集成電路應用領域
8.2.3 面板AMOLED領域
8.3 全球離子注入設備發展狀況
8.3.1 行業市場價值
8.3.2 全球市場規模
8.3.3 全球市場格局
8.3.4 行業進入壁壘
8.4 國內離子注入設備行業發展情況
8.4.1 行業相關政策
8.4.2 行業供求分析
8.4.3 行業市場規模
8.4.4 細分市場分析
8.4.5 市場競爭格局
8.4.6 行業發展趨勢
第九章 2020-2022年中國其他晶圓加工設備行業發展分析
9.1 涂膠顯影設備行業
9.1.1 涂膠顯影設備介紹
9.1.2 涂膠顯影工藝流程
9.1.3 涂膠顯影設備行業規模
9.1.4 涂膠顯影設備行業格局
9.2 去膠設備行業
9.2.1 去膠設備工藝介紹
9.2.2 去膠設備行業市場規模
9.2.3 去膠設備行業競爭格局
9.2.4 國內去膠設備企業發展
9.3 熱處理設備行業
9.3.1 熱處理設備分類
9.3.2 熱處理設備技術特點
9.3.3 熱處理設備行業規模
9.3.4 熱處理設備競爭格局
9.3.5 熱處理設備中標情況
第十章 2020-2022年晶圓加工設備行業下游發展分析——晶圓制造行業
10.1 晶圓制造行業概述
10.1.1 行業發展歷程
10.1.2 企業經營模式
10.1.3 行業技術發展
10.2 全球晶圓制造業發展分析
10.2.1 全球晶圓制造業發展態勢
10.2.2 全球晶圓制造產能分析
10.2.3 全球晶圓代工市場規模
10.2.4 全球晶圓代工市場份額
10.2.5 全球晶圓代工企業擴產
10.3 全球晶圓代工產業格局
10.3.1 專屬晶圓代工廠排名
10.3.2 晶圓代工TOP10企業
10.3.3 晶圓二線專屬代工企業
10.3.4 IDM兼晶圓代工企業
10.4 中國晶圓制造業發展分析
10.4.1 晶圓制造行業規模
10.4.2 晶圓制造行業產量
10.4.3 晶圓制造區域發展
10.4.4 晶圓制造并購分析
10.4.5 芯片制程升級需求
10.4.6 晶圓制造發展機遇
10.5 中國晶圓代工市場運行分析
10.5.1 晶圓代工市場發展規模
10.5.2 國內晶圓廠生產線發展
10.5.3 本土晶圓代工公司排名
10.5.4 晶圓代工市場發展預測
第十一章 2019-2021年國外晶圓加工設備主要企業經營情況
11.1 應用材料(AMAT)
11.1.1 企業發展概況
11.1.2 2019年經營狀況
11.1.3 2020年經營狀況
11.1.4 2021年經營狀況
11.2 泛林半導體(Lam)
11.2.1 企業發展概況
11.2.2 2019年經營狀況
11.2.3 2020年經營狀況
11.2.4 2021年經營狀況
11.3 東京電子(TEL)
11.3.1 企業發展概況
11.3.2 2019年經營狀況
11.3.3 2020年經營狀況
11.3.4 2021年經營狀況
11.4 先晶半導體(ASMI)
11.4.1 企業發展概況
11.4.2 2019年經營狀況
11.4.3 2020年經營狀況
11.4.4 2021年經營狀況
第十二章 2019-2021年國內晶圓加工設備主要企業經營情況
12.1 拓荊科技
12.1.1 企業發展概況
12.1.2 經營效益分析
12.1.3 業務經營分析
12.1.4 財務狀況分析
12.1.5 核心競爭力分析
12.1.6 公司發展戰略
12.1.7 未來前景展望
12.2 北方華創
12.2.1 企業發展概況
12.2.2 經營效益分析
12.2.3 業務經營分析
12.2.4 財務狀況分析
12.2.5 核心競爭力分析
12.2.6 公司發展戰略
12.2.7 未來前景展望
12.3 中微公司
12.3.1 企業發展概況
12.3.2 經營效益分析
12.3.3 業務經營分析
12.3.4 財務狀況分析
12.3.5 核心競爭力分析
12.3.6 公司發展戰略
12.3.7 未來前景展望
12.4 盛美上海
12.4.1 企業發展概況
12.4.2 企業主營產品
12.4.3 經營效益分析
12.4.4 業務經營分析
12.4.5 財務狀況分析
12.4.6 核心競爭力分析
12.4.7 公司發展戰略
12.4.8 未來前景展望
12.5 至純科技
12.5.1 企業發展概況
12.5.2 企業主要業務
12.5.3 經營效益分析
12.5.4 業務經營分析
12.5.5 財務狀況分析
12.5.6 核心競爭力分析
12.5.7 公司發展戰略
12.5.8 未來前景展望
12.6 萬業企業
12.6.1 企業發展概況
12.6.2 經營效益分析
12.6.3 業務經營分析
12.6.4 財務狀況分析
12.6.5 核心競爭力分析
12.6.6 公司發展戰略
12.6.7 未來前景展望
12.7 屹唐股份
12.7.1 企業發展概況
12.7.2 經營效益分析
12.7.3 業務經營分析
12.7.4 財務狀況分析
12.7.5 核心競爭力分析
12.7.6 公司發展戰略
12.7.7 未來前景展望
12.8 華海清科
12.8.1 企業發展概況
12.8.2 拋光墊產品發展
12.8.3 經營效益分析
12.8.4 業務經營分析
12.8.5 財務狀況分析
12.8.6 核心競爭力分析
12.8.7 公司發展戰略
12.8.8 未來前景展望
第十三章 中國晶圓加工設備行業項目投資案例
13.1 拓荊科技原子層沉積(ALD)設備研發與產業化項目
13.1.1 項目基本情況
13.1.2 項目投資概算
13.1.3 項目進度安排
13.1.4 項目效益分析
13.2 盛美上海清洗設備研發項目
13.2.1 項目基本情況
13.2.2 項目價值分析
13.2.3 項目投資概算
13.2.4 項目效益分析
13.3 屹唐股份刻蝕設備研發項目
13.3.1 項目基本情況
13.3.2 項目進度安排
13.3.3 項目價值分析
13.3.4 項目效益分析
13.4 華海清科化學機械拋光設備項目投資案例
13.4.1 項目基本情況
13.4.2 項目投資價值
13.4.3 項目投資概算
13.4.4 項目效益分析
第十四章 中投顧問對2022-2026年晶圓加工設備行業發展前景及趨勢預測
14.1 晶圓加工設備行業發展前景
14.1.1 行業面臨機遇
14.1.2 國產替代前景
14.1.3 下游市場趨勢
14.2 中投顧問對2022-2026年中國晶圓加工設備行業預測分析
14.2.1 2022-2026年中國晶圓加工設備行業影響因素分析
14.2.2 2022-2026年中國晶圓加工設備市場規模預測

圖表目錄

圖表 集成電路主要設備投資比例
圖表 晶圓制造主要步驟使用工藝及設備
圖表 主要晶圓加工設備介紹及其國內外制造企業
圖表 氧化工藝的用途
圖表 光刻工藝流程圖
圖表 光刻工藝流程
圖表 等離子刻蝕原理
圖表 濕法刻蝕和干法刻蝕對比
圖表 離子注入與擴散工藝比較
圖表 離子注入機示意圖
圖表 離子注入機細分市場格局
圖表 IC集成電路離子注入機市場格局
圖表 三種CVD工藝對比
圖表 蒸發和濺鍍PVD工藝對比
圖表 半導體清洗的污染物種類、來源及危害
圖表 近年與半導體產業鏈相關的扶持政策
圖表 2010-2020年全球半導體設備銷售額
圖表 2020年全球前十大半導體設備廠商銷售額
圖表 半導體設備產業政策
圖表 2012-2020年中國大陸半導體設備銷售額
圖表 國產半導體裝備產業銷售額
圖表 2020 年全球半導體設備銷售額和占比
圖表 2020年全球各類晶圓制造設備市場規模
圖表 2014-2020年全球各地區集成電路制造設備市場規模
圖表 國產集成電路制造設備國產化進程
圖表 2021年國內半導體設備招投標數據總覽
圖表 2022年國內半導體設備招投標數據總覽
圖表 2021年北方華創中標數據
圖表 2021年中微公司中標數據
圖表 2021年盛美半導體中標數據
圖表 2021年沈陽拓荊中標數據
圖表 2021年屹唐半導體中標數據
圖表 2021年中國電子科技集團中標數據
圖表 2021年至純科技中標數據
圖表 2022年北方華創中標數據
圖表 2022年中微公司中標數據
圖表 2022年盛美半導體中標數據
圖表 2022年至純科技中標數據
圖表 EUV光刻機制造工藝難點
圖表 EUV光刻機優勢
圖表 EUV光刻技術演示
圖表 EUV與ArF光刻機對比分析
圖表 光刻機領域發展歷程
圖表 2016-2025年全球光刻機年度銷量及預測
圖表 2016-2025年全球光刻機市場規模
圖表 2020年全球光刻機產品結構(按銷量計)
圖表 2020年全球光刻機產品結構(按營銷額計)
圖表 全球光刻機行業競爭格局
圖表 國產光刻機產業鏈
圖表 國產光刻機破局要點
圖表 2019-2021年中國制半導體器件或集成電路用的分步重復光刻機進出口總額
圖表 2019-2021年中國制半導體器件或集成電路用的分步重復光刻機進出口結構
圖表 2019-2021年中國制半導體器件或集成電路用的分步重復光刻機貿易順差規模
圖表 2019-2020年中國制半導體器件或集成電路用的分步重復光刻機進口區域分布
圖表 2019-2021年中國制半導體器件或集成電路用的分步重復光刻機進口市場集中度(分國家)
圖表 2020年主要貿易國制半導體器件或集成電路用的分步重復光刻機進口市場情況
圖表 2021年主要貿易國制半導體器件或集成電路用的分步重復光刻機進口市場情況
圖表 2019-2020年中國制半導體器件或集成電路用的分步重復光刻機出口區域分布
圖表 2019-2021年中國制半導體器件或集成電路用的分步重復光刻機出口市場集中度(分國家)
圖表 2020年主要貿易國制半導體器件或集成電路用的分步重復光刻機出口市場情況
圖表 2021年主要貿易國制半導體器件或集成電路用的分步重復光刻機出口市場情況
圖表 2019-2021年主要省市制半導體器件或集成電路用的分步重復光刻機進口市場集中度(分省市)
圖表 2020年主要省市制半導體器件或集成電路用的分步重復光刻機進口情況
圖表 2021年主要省市制半導體器件或集成電路用的分步重復光刻機進口情況
圖表 2019-2021年中國制半導體器件或集成電路用的分步重復光刻機出口市場集中度(分省市)
圖表 2020年主要省市制半導體器件或集成電路用的分步重復光刻機出口情況
圖表 2021年主要省市制半導體器件或集成電路用的分步重復光刻機出口情況
圖表 PVD、CVD及ALD成膜效果簡示
圖表 薄膜沉積技術分類
圖表 2019-2022年全球半導體薄膜沉積設備市場規模
圖表 半導體設備投資占比情況
圖表 2020年薄膜沉積設備市場結構
圖表 PVD及CVD在全球設備市場合計市占率
圖表 2019年全球ALD設備市場份額
圖表 2019年全球CVD設備市場份額
圖表 2020年PVD市場份額
圖表 國內主要晶圓制造產線設備招標統計
圖表 CVD技術對比
圖表 CVD分類
圖表 CVD設備產業鏈
圖表 2017-2020年全球薄膜沉積設備市場規模及增速
圖表 2020年薄膜沉積設備細分市場結構占比情況
圖表 2020年全球CVD設備市場份額
圖表 刻蝕是去除沉積層形成電路圖形的工藝
圖表 2021主流刻蝕工藝份額
圖表 刻蝕工藝按材料分類
圖表 干法刻蝕與濕法刻蝕對比分析
圖表 不同工藝的刻蝕次數
圖表 先進制程刻蝕方法
圖表 刻蝕工藝技術簡易原理
圖表 電容性和電感性等離體刻蝕設備
圖表 刻蝕設備產業鏈
圖表 2013-2025年全球刻蝕機市場規模及預測
圖表 全球不同刻蝕介質規模占比
圖表 2020年全球刻蝕設備競爭格局
圖表 國內主要刻蝕設備生產商
圖表 各廠商刻蝕設備與刻蝕工藝對比
圖表 10 納米多重模板工藝原理,涉及多次刻蝕
圖表 刻蝕領域同行業公司技術對比
圖表 硅片制造過程CMP設備應用場景
圖表 芯片制造過程CMP設備應用場景
圖表 先進封裝過程CMP設備應用場景
圖表 不同類型的CMP設備
圖表 2019年全球CMP設備區域市場分布
圖表 2019年全球CMP設備競爭格局
圖表 2012-2019年全球CMP設備市場規模
圖表 2012-2019年全球CMP設備市場規模
圖表 2013-2019年中國大陸CMP設備市場規模
圖表 2019年全球CMP設備區域市場分布
圖表 國內外CMP設備龍頭企業對比
圖表 半導體清洗中的污染物種類
圖表 清洗步驟貫穿芯片制造流程中的多個工藝環節
圖表 工藝進步帶來清洗步驟增加
圖表 濕法清洗工藝概覽
圖表 干法清洗工藝概覽
圖表 各種清洗設備情況
圖表 單片清洗原理
圖表 槽式清洗原理
圖表 單片槽式組合清洗原理
圖表 批式旋轉噴淋清洗原理
圖表 2018-2024年全球半導體清洗設備市場規模及預測
圖表 2020年全球半導體清洗設備市場格局
圖表 全球清洗設備行業龍頭企業對比
圖表 主要清洗設備公司技術布局
圖表 2019年全球半導體清洗設備結構分布
圖表 清洗設備企業幾種清洗方法對比
圖表 半導體清洗設備的技術路線較多
圖表 長江存儲清洗設備中標情況
圖表 華虹無錫清洗設備中標情況
圖表 上海華力二期清洗設備中標情況
圖表 離子注入與擴散工藝的比較
圖表 離子注入作為摻雜方式的優點
圖表 離子注入利用入射離子的能量損耗機制達成靶材內的駐留
圖表 離子注入機由5個部分構成
圖表 離子射線系統由6大核心零部件構成
圖表 射線系統的6大核心零部件的功能區別
圖表 離子注入機類型
圖表 離子注入機的構成及工作原理
圖表 離子注入在N型電池上的應用點概況
圖表 離子注入在TOPCon IBC電池背面P-N區域隔離情況
圖表 離子注入在集成電路中的應用場景
圖表 離子注入在OLED環節的應用
圖表 離子注入機在制程設備中的價值比重
圖表 全球離子注入機市場規模及增速
圖表 中國離子注入機行業主要政策規劃
圖表 《首臺(套)重大技術裝備推廣應用指導目錄》離子注入機應用技術指標
圖表 2016-2020年中國離子注入機產量、需求量統計
圖表 2016-2020年中國離子注入機市場規模
圖表 2016-2020年中國離子注入機細分市場規模
圖表 2020年中國離子注入機細分市場結構
圖表 全球離子注入機行業領先企業
圖表 涂膠顯影和噴膠設備介紹
圖表 光刻工藝中的涂膠顯影
圖表 2019-2023年全球涂膠顯影設備行業市場規模
圖表 2019-2023年中國涂膠顯影設備行業市場規模
圖表 全球涂膠顯影行業市場競爭格局
圖表 中國大陸涂膠顯影行業市場競爭格局
圖表 國內企業芯源微技術進展
圖表 主要去膠方式對比
圖表 2019-2025年全球去膠設備行業市場規模及增速
圖表 2020年全球去膠設備行業競爭格局
圖表 屹唐半導體去膠設備技術進展
圖表 熱處理設備分類
圖表 2019-2025年全球半導體熱處理設備分類市場規模
圖表 全球熱處理設備市場格局
圖表 全球快速熱處理RTP設備市場格局
圖表 北方華創中標長江存儲設備情況
圖表 長江存儲熱處理設備中標比例
圖表 集成電路制造行業發展歷程
圖表 2020年全球前五大晶圓制造商產能
圖表 2014-2019年全球晶圓代工產值
圖表 2020年全球晶圓代工市場份額
圖表 中國大陸代工在全球晶圓代工市場份額
圖表 2021年晶圓代工巨頭擴產情況
圖表 2021年全球專屬晶圓代工TOP10
圖表 2015-2021年我國集成電路制造行業市場規模
圖表 2011-2021年我國集成電路制造行業總產量
圖表 2021年中國集成電路七大區產量統計
圖表 中國集成電路產量大區占比
圖表 2021年集成電路制造并購事件
圖表 2D NAND到3D NAND的技術進步帶來拋光步驟增加
圖表 邏輯芯片晶圓拋光次數隨技術節點進步而增加
圖表 集成電路制造的設備投入趨勢
圖表 2018-2020年中國晶圓代工市場規模
圖表 2020年中國大陸本土晶圓代工公司營收排名榜
圖表 2018-2019年美國應用材料綜合收益表
圖表 2018-2019年美國應用材料分部資料
圖表 2018-2019年美國應用材料收入分地區資料
圖表 2019-2020年美國應用材料綜合收益表
圖表 2019-2020年美國應用材料分部資料
圖表 2019-2020年美國應用材料收入分地區資料
圖表 2020-2021年美國應用材料綜合收益表
圖表 2020-2021年美國應用材料分部資料
圖表 2020-2021年美國應用材料收入分地區資料
圖表 2018-2019年泛林半導體綜合收益表
圖表 2018-2019年泛林半導體分部資料
圖表 2018-2019年泛林半導體收入分地區資料
圖表 2019-2020年泛林半導體綜合收益表
圖表 2019-2020年泛林半導體分部資料
圖表 2019-2020年泛林半導體收入分地區資料
圖表 2020-2021年泛林半導體綜合收益表
圖表 2020-2021年泛林半導體分部資料
圖表 2020-2021年泛林半導體收入分地區資料
圖表 2018-2019年東京電子綜合收益表
圖表 2018-2019年東京電子分部資料
圖表 2018-2019年東京電子收入分地區資料
圖表 2019-2020年東京電子綜合收益表
圖表 2019-2020年東京電子分部資料
圖表 2019-2020年東京電子收入分地區資料
圖表 2020-2021年東京電子綜合收益表
圖表 2020-2021年東京電子分部資料
圖表 2020-2021年東京電子收入分地區資料
圖表 2018-2019年先晶半導體綜合收益表
圖表 2018-2019年先晶半導體分部資料
圖表 2018-2019年先晶半導體收入分地區資料
圖表 2019-2020年先晶半導體綜合收益表
圖表 2019-2020年先晶半導體分部資料
圖表 2019-2020年先晶半導體收入分地區資料
圖表 2020-2021年先晶半導體綜合收益表
圖表 2020-2021年先晶半導體分部資料
圖表 2020-2021年先晶半導體收入分地區資料
圖表 2018-2021年拓荊科技總資產及凈資產規模
圖表 2018-2021年拓荊科技營業收入及增速
圖表 2019-2020年拓荊科技營業收入分行業、產品、地區
圖表 2020-2021年拓荊科技營業收入分行業、產品、地區
圖表 2018-2021年拓荊科技凈利潤及增速
圖表 2018-2021年拓荊科技營業利潤及營業利潤率
圖表 2018-2021年拓荊科技凈資產收益率
圖表 2018-2021年拓荊科技短期償債能力指標
圖表 2018-2021年拓荊科技資產負債率水平
圖表 2018-2021年拓荊科技運營能力指標
圖表 2018-2021年北方華創總資產及凈資產規模
圖表 2018-2021年北方華創營業收入及增速
圖表 2019-2020年北方華創營業收入分行業、產品、地區
圖表 2020-2021年北方華創營業收入分行業、產品、地區
圖表 2018-2021年北方華創凈利潤及增速
圖表 2018-2021年北方華創營業利潤及營業利潤率
圖表 2018-2021年北方華創凈資產收益率
圖表 2018-2021年北方華創短期償債能力指標
圖表 2018-2021年北方華創資產負債率水平
圖表 2018-2021年北方華創運營能力指標
圖表 2018-2021年中微公司總資產及凈資產規模
圖表 2018-2021年中微公司營業收入及增速
圖表 2019-2020年中微公司營業收入分行業、產品、地區
圖表 2020-2021年中微公司營業收入分行業、產品、地區
圖表 2018-2021年中微公司凈利潤及增速
圖表 2018-2021年中微公司營業利潤及營業利潤率
圖表 2018-2021年中微公司凈資產收益率
圖表 2018-2021年中微公司短期償債能力指標
圖表 2018-2021年中微公司資產負債率水平
圖表 2018-2021年中微公司運營能力指標
圖表 2018-2021年盛美上?傎Y產及凈資產規模
圖表 2018-2021年盛美上海營業收入及增速
圖表 2019-2020年盛美上海營業收入分行業、產品、地區
圖表 2020-2021年盛美上海營業收入分行業、產品、地區
圖表 2018-2021年盛美上海凈利潤及增速
圖表 2018-2021年盛美上海營業利潤及營業利潤率
圖表 2018-2021年盛美上海凈資產收益率
圖表 2018-2021年盛美上海短期償債能力指標
圖表 2018-2021年盛美上海資產負債率水平
圖表 2018-2021年盛美上海運營能力指標
圖表 2018-2021年至純科技總資產及凈資產規模
圖表 2018-2021年至純科技營業收入及增速
圖表 2019-2020年至純科技營業收入分行業、產品、地區
圖表 2020-2021年至純科技營業收入分行業、產品、地區
圖表 2018-2021年至純科技凈利潤及增速
圖表 2018-2021年至純科技營業利潤及營業利潤率
圖表 2018-2021年至純科技凈資產收益率
圖表 2018-2021年至純科技短期償債能力指標
圖表 2018-2021年至純科技資產負債率水平
圖表 2018-2021年至純科技運營能力指標
圖表 2018-2021年萬業企業總資產及凈資產規模
圖表 2018-2021年萬業企業營業收入及增速
圖表 2019-2020年萬業企業營業收入分行業、產品、地區
圖表 2020-2021年萬業企業營業收入分行業、產品、地區
圖表 2018-2021年萬業企業凈利潤及增速
圖表 2018-2021年萬業企業營業利潤及營業利潤率
圖表 2018-2021年萬業企業凈資產收益率
圖表 2018-2021年萬業企業短期償債能力指標
圖表 2018-2021年萬業企業資產負債率水平
圖表 2018-2021年萬業企業運營能力指標
圖表 2018-2021年屹唐股份總資產及凈資產規模
圖表 2018-2021年屹唐股份營業收入及增速
圖表 2019-2020年屹唐股份營業收入分行業、產品、地區
圖表 2020-2021年屹唐股份營業收入分行業、產品、地區
圖表 2018-2021年屹唐股份凈利潤及增速
圖表 2018-2021年屹唐股份營業利潤及營業利潤率
圖表 2018-2021年屹唐股份凈資產收益率
圖表 2018-2021年屹唐股份短期償債能力指標
圖表 2018-2021年屹唐股份資產負債率水平
圖表 2018-2021年屹唐股份運營能力指標
圖表 2018-2021年華海清科總資產及凈資產規模
圖表 2018-2021年華海清科營業收入及增速
圖表 2019-2020年華海清科營業收入分行業、產品、地區
圖表 2020-2021年華海清科營業收入分行業、產品、地區
圖表 2018-2021年華海清科凈利潤及增速
圖表 2018-2021年華海清科營業利潤及營業利潤率
圖表 2018-2021年華海清科凈資產收益率
圖表 2018-2021年華海清科短期償債能力指標
圖表 2018-2021年華海清科資產負債率水平
圖表 2018-2021年華海清科運營能力指標
圖表 ALD設備研發與產業化項目投資預算
圖表 ALD設備研發與產業化項目建設規劃
圖表 盛美上海清洗設備研發項目投資概算
圖表 化學機械拋光機產業化項目投資概算
圖表 2021-2022年國內晶圓廠擴產規劃
圖表 2021-2022年國內晶圓廠擴產規劃
圖表 中投顧問對2022-2026年中國晶圓加工設備市場規模預測

晶圓制造過程中有幾大重要的步驟:氧化、沉積、光刻、刻蝕、離子注入/擴散等。這幾個主要步驟都需要若干種半導體設備,滿足不同的需要。設備中應用較為廣泛的有氧化爐、沉積設備、光刻機、刻蝕設備、離子注入機、清洗機、化學研磨設備等。

2020年全球晶圓加工設備市場規?焖倩厣648.88億美元。2025年,全球晶圓加工設備市場規模預計將達到857.27億美元。2020年,中國大陸晶圓加工設備市場規模達143.58億美元,全球規模占比增長至22.13%,年復合增速達27.36%。

晶圓加工設備行業為技術密集型行業,生產技術涉及微電子、電氣、機械、材料、化學工程、流體力學、自動化、圖像識別、通訊、軟件系統等多學科、多領域知識的綜合運用。晶圓加工設備行業的國際巨頭企業的市場占有率很高,特別是在光刻機、檢測設備、離子注入設備等方面處于壟斷地位,且其在大部分技術領域已采取了知識產權保護措施,因此晶圓加工設備行業的技術壁壘非常高。中國大陸少數企業經過了十年以上的技術研發和工藝積累,在部分領域實現了技術突破和創新,在避免知識產權糾紛的前提下,成功推出了差異化的產品,得到國內外客戶的認可,產品走向了國際市場。

中投產業研究院發布的《2022-2026年中國晶圓加工設備行業深度調研及投資前景預測報告》共十四章。首先介紹了晶圓加工設備行業的發展環境,接著分析了國內外半導體設備以及晶圓加工設備行業的發展情況,然后分析了主要晶圓加工設備的行業運行情況,包括光刻設備、薄膜沉積設備、刻蝕設備、化學機械拋光設備、清洗設備離子注入設備以及其他設備,并分析了我國晶圓加工設備下游晶圓制造行業的發展情況。隨后,報告對國內外晶圓加工設備行業重點企業及項目投資案例做了介紹分析,最后重點分析了行業的發展趨勢。

本研究報告數據主要來自于國家統計局、中國半導體行業協會、海關總署、中投產業研究院、中投產業研究院市場調查中心、中國半導體行業協會以及國內外重點刊物等渠道,數據權威、詳實、豐富,同時通過專業的分析預測模型,對行業核心發展指標進行科學地預測。您或貴單位若想對晶圓加工設備行業有個系統深入的了解、或者想投資晶圓加工設備行業,本報告將是您不可或缺的重要參考工具。

本報告目錄與內容系中投顧問原創,未經中投顧問書面許可及授權,拒絕任何形式的復制、轉載,謝謝!

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